| 产地类别 | 进口 |
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优异的隔振性能，减振性能，抗振动的定位性能，具有6个自由度主动控制
MAPS系列是一种主动防振装置，它将所有必需的功能组合成一个小型装置，以便可以轻松地整合到客户的设备中。日本三菱精密气压控制主动隔振系统MAPS系列
气压控制型主动隔振系统MAPS系列
优异的隔振性能，减振性能，抗振动的定位性能，具有6个自由度主动控制
MAPS系列是一种主动防振装置，它将所有必需的功能组合成一个小型装置，以便可以轻松地整合到客户的设备中。
- 活跃
应用领域
- 半导体制造/精密加工
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概述/功能
即使在小尺寸的情况下也支持所有自由度的振动
Mechas Seiki MAPS系列主动隔振系统是一种结构紧凑的垂直和水平气动执行器的单元类型。通过使用4个单元，具有优异的隔振性能，减振性能，抗所有自由度振动的定位性能。
还消除了被动隔振困难的带的振动
除了振动被动分经常有在共振始终是由于固有振动问题的情况，但你可以摆脱的共鸣由于激活固有振动。
在该频带中也可以获得优异的隔振性能。例如，在2赫兹到弱被动隔振附近低频率振动，与被动隔振比较，可以降低到1 / 30-1 / 100或更小。
标准MAPS可以进行超过10吨的设备挖掘
随着功能的增强，近的精密仪器趋于变得越来越大。已经开发出总重量超过10吨的设备。因为设备的尺寸较大而难以使设备本身的固有频率保持较高，所以它更容易受到低频振动的影响，这在过去从未成为问题。这也是需要具有优异低频隔振性能的主动隔振系统的原因之一。
即使安装运行阶段等设备也不会摇晃
通过用柔软的弹性体支撑用于减振的被动振动隔离器，安装有移动，如X-Y阶段中的装置时，它要么也将由此增加整个大摇曳宁愿振动我不会。
在主动振动隔离中，执行反馈控制以便始终保持静止状态，从而可以减小振动。此外，如果预先阶段的移动作为信号的输出，所以能够前馈控制，以使所产生的振动变得小，也能够提供自由摆动的环境。
MAPS具有出色的定位精度和水平精度
当设备变大时，倾斜也是一个问题。因为设备本身很重，如果它倾斜，它会在自重下弯曲，对精度产生重大影响。由于MAPS还考虑了水平精度，因此可以抑制倾斜并保持精度。此外，还要考虑定位精度，因此可以顺利地完成磁盘和电路板的交付。
MAPS结构紧凑，易于使用
只需确保安装MAPS的空间，就可以获得不受振动影响的环境。由于MAPS系列的控制系统非常稳定，因此可以放心使用产品以及内部设施。
MAPS是构成精密设备的重要部件之一
到目前为止，似乎有许多人因为对振动的担忧而使用隔振器，但是随着更高的精度，更高的功能和更大的尺寸进展，我们将它们安装在防振装置中除非消除振动的影响，否则已经出现了不能证明根据说明书的性能的现象。防振装置不是精密设备的附属装置，它是构建系统和发挥其性能的必要部件之一。
基本配置部件和数量
- 4个MAPS执行器
- 1个控制器/放大器
- 一个气动调节器
- 电缆1型
- 管道1型
请从设备开发开始说
MAPS系列具有紧凑形状的振动隔离所需的所有功能。因此，不必像过去那样确保安装隔振器所需的大空间。
当然，即使在设备开发完成之后，MAPS也可以容易地组装，但是在这种情况下，经常会出现各种限制。就抗振性能或成本而言，它不是一种非常好的方法。通过使用从装置的开发阶段安装的MAPS设计框架，壳体等，通过有效地设计空间，可以将MAPS安装在有利于隔振性能的位置。
通过这种方式，通过在开发和设计精密设备时检查MAPS的包含，可以使振动环境更接近更好的条件。
代表MAPS的振动传播率
规范
- 主要规格
| 项目/格式 | MAPS-008 | MAPS-016 | MAPS-033 | MAPS-065 | MAPS-130 | MAPS-240 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 可安装质量[kgf] （使用4个单位时） |
400至800 | 800至1600 | 1600 至3300 |
3300 至6500 |
6500 至13000 |
13000 到24000 |
|
| 飞机尺寸W×D×H [mm] | 235×235×130 | 296×296×140 | 350×350×150 | 450×450×190 | 600×480×190 | 710×600×190 | |
| 顶板/底板 安装孔数量 – 孔直径C [mm] |
4 – Φ10 | 4 – Φ10 | 4 – Φ14 | 4 – Φ16 | 6 – Φ16 | 6 – Φ16 | |
| 顶板/ 底板 安装孔间距 |
A1 [mm] | 218 | 276 | 320 | 420 | – | – |
| A 2 [mm] | – | – | – | – | 100 | 250 | |
| A 3 [mm] | – | – | – | – | 460 | 420 | |
| A4 [mm] | – | – | – | – | 25 | 20 | |
| B [mm] | 218 | 276 | 320 | 420 | 430 | 230 | |
| 每个单位的 质量[kg] |
13 | 42 | 63 | 110 | 180 | 230 | |
| 供气压力[MPa] | 0.6到0.8（清洁空气） | ||||||
| 固定耗气量[| / min] | 45至65岁 | 120至170 | |||||
| 耗气量[| / min] | 120 | 300 | |||||
| 电源电压[V] | 100至240（AC单相，50/60 Hz） | ||||||
| 功耗[VA] | 180 | ||||||
| 环境温度[゜c] | 0到40 | ||||||
| 环境湿度[％RH] | 35至85（非冷凝） | ||||||
| 弹簧结构固有频率[Hz] | 200或更多（推荐值） | ||||||
| 隔振/减震系统 | 通过气动控制进行振动控制 | ||||||
| 等级维护方法 | 通过气动控制进行位置控制 | ||||||
| 抗振性能 | 振动传输速率参考 | ||||||
| 控制轴数量 | ≦6 | ||||||
隔振性能和定位精度可以根据安装地点的环境，装载物体的特性，控制方法等而改变。也可以生产除此表之外的型号和规格。请咨询。
日本三菱精密气压控制主动隔振系统MAPS系列
日本三菱精密气压控制主动隔振系统MAPS系列