出色的免维护和出色的隔振性能。
它是一种单元式螺旋弹簧式防振装置，可直接装入各种精密仪器，包括FPD制造检测设备。日本三菱精密螺旋弹簧式防振装置SMI系列
压缩机螺旋弹簧+油阻尼器抑制弹簧波动和共振放大，并在宽频带上发挥出色的隔振性能。
不需要空气源等实用工具，无需维护即可使用。
老化劣化非常小，并且长时间证明了稳定的性能。

单元式螺旋弹簧式防振装置SMI系列

出色的免维护和出色的隔振性能。

它是一种单元式螺旋弹簧式防振装置，可直接装入各种精密仪器，包括FPD制造检测设备。

• 被动

应用领域

• 测量和称重设备
• 半导体制造/精密加工

• 单位类型

• 日本三菱精密螺旋弹簧式防振装置SMI系列
• 日本三菱精密螺旋弹簧式防振装置SMI系列

概述/功能

• 压缩机螺旋弹簧+油阻尼器抑制弹簧波动和共振放大，并在宽频带上发挥出色的隔振性能。
• 不需要空气源等实用工具，无需维护即可使用。
• 老化劣化非常小，并且长时间证明了稳定的性能。
• 通过改变阻尼油的粘度可以设定适当的阻尼比。
• 通过轴承内部机构的调平机构，可以轻松调整单元高度。（某些型号不包括在内。）
• 我们将根据对象的规格提出单位，所以请。

振动传递率

SMI-120

规范

• 主要规格

*通常，使用3个或更多单位。※如果负载有移动工作，请提前联系我们。
*由于产品改进，请事先了解规格/外观的一部分如有更改，恕不另行通知。