扫描型膜厚测试仪
是简洁易操作的台式膜厚仪，适用于在大尺寸基板上的薄膜和涂层上，利用光学反射方法来测量和自动分析薄膜涂层的表征。
扫描型膜厚测试仪
膜厚仪是可通过测定放置在真空托盘上的任何大小的半导体晶圆片，快速计算出其厚度、折射率、均匀性、颜色等参数。
膜厚仪的光学扫描系统，采用一套独特又可配套的光谱仪，集成白炽和LED混合的光源，以及其他光学部件。在本系统设计中没有任何弯曲或移动探针。因此，在精确度、重复性和长期性方面，光纤具有优异的性能。确保系统结果输出的稳定性。此外光源的特殊设计提供极长寿命，可达10000小时以上。
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系统参数 |
FR-Scanner-E VIS/NIR |
FR-Scanner-F VIS/NIR |
FR-Scanner-F VIS |
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样片尺寸 |
晶圆片: 2in-3in-4in-6in-8in. 不规则样片等 |
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R向分辨精度 |
10μm |
5μm |
5μm |
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角度分辨精度 |
0.2° |
0.1° |
0.1° |
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光斑大小 |
500μm (直径): 反射的区域 |
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zui小膜厚 |
100nm |
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光谱范围 |
350nm – 1100nm |
350nm – 1100nm |
550nm – 900nm |
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光谱仪参数 |
3648 pixels |
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光源平均使用寿命 |
10000小时 |
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膜厚范围 |
20nm-90μm |
20nm-90μm |
100nm-190μm |
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测量分辨率 |
<0.1nm |
0.06nm |
0.06nm |
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测量稳定范围 |
<0.1nm |
0.06nm |
0.06nm |
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测量精度 |
1nm |
1nm |
1nm |
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扫描速率 |
200meas/min 5points: 6sec 25points: 15sec |
625meas/min 5points: 4sec 25points: 9 sec |
625meas/min 5points: 4sec 25points: 9 sec |
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通讯接口 |
USB 2.0 / USB 3.0. Any PC running Windows 7/8/10 64bit. |
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尺寸 |
485W x 457L x 500H mm |
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功率要求 |
110V/230V, 50-60Hz, 300Watts |
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重量 |
23kg |
40kg |
40kg |
*附件选项
电脑：PC with 19inch screen
对焦模块：光学模块附带250um直径光斑大小的反射探针
泵浦：样品放置用的高级无油真空泵浦