对于隔振器，重点放在更灵活，更不用说的性能。原因在于，为精密仪器的个性量身定制的隔振系统已越来越多地直接并入设备中。振动隔离系统可以快速响应这些需求，它是AP系列。日本三菱精密空气弹簧式防振装置AP系列

单元式空气弹簧式防振装置AP系列

可以以低成本构建适合于精密设备个性的抗振系统。

对于隔振器，重点放在更灵活，更不用说的性能。原因在于，为精密仪器的个性量身定制的隔振系统已越来越多地直接并入设备中。振动隔离系统可以快速响应这些需求，它是AP系列。除了丰富的功能外，可扩展性也足够了。该隔振系统实现了更理想的振动环境。

• 被动

应用领域

• 测量和称重设备
• 半导体制造/精密加工

• 单位类型

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概述/功能

独特的空气弹簧防振系统，技术和成果清晰

采用空气弹簧系统，在显微镜和激光应用技术，半导体制造和检测设备等广泛领域取得了众多成就。在几Hz到几百Hz的宽频带内保证了出色的抗振性能。即使停止供应空气，空气弹簧底部的防振橡胶也能保护安装设备的机构。

多功能单元类型

安装在设备中时，要求隔振系统的安装空间较小。AP系列是一种紧凑概括的空气弹簧和高灵敏度水平维护传感器的单元型控制器。它可以在不增加设备重大规格变化的情况下安装，并且可以获得高隔振性能。

总高度统一为185毫米（悬浮时）

所有这些防振系统统一在185 mm的整体高度。在不太可能的情况下，即使由于设计改变而使安装的设备质量增加或减少，也可以在不改变设备总高度的情况下进行响应。

涵盖广泛的安装质量

需要隔振的精密仪器逐年使其类型和使用目的多样化。根据精密设备AP-80的多达38011种阵容的质量，可以从几百公里外的容纳即使是大型精密设备10多万吨。

可以对应洁净室

在高级洁净室中使用时，可以将其更换为洁净室的水平维护传感器，可以集中注意空气。（由于它是定制的，请另外联系我们。）两步传感器不能更改。

与移动负载的高度对应

工件的运动，转移，例如衬底，在自动处理的动作不断地变化的负载并测量当由空气弹簧作为弹性体支撑机由于，位置可重复性变得重要。AP系列配备专有的高灵敏度液位维护传感器，标准配置为空气弹簧控制标准，实现±200μm的垂直返回精度。另外，随着近年来的工作速度的增加，存在负载板的摇动成为问题的情况。可以通过选择两阶段传感器选项缩短摆动的收敛时间，返回精度将提高到对应于移动负载为±100微米，被动振动隔离系统的极限。（当由于移动负载引起的抖动收敛时间成为问题时，请事先咨询我们。）

规范

• 主要规格

模型	AP-80	AP-100	AP-120	AP-140	AP-160	AP-180
固有频率	垂直·水平：2.5~3.0 Hz
防振方法	空气弹簧
阻尼系统	通过孔口倾倒空气
等级维护方法	自动水平维护机制（返回精度±200μm）
飞机尺寸 W×D×H（mm）	170×170  ×185	180×180  ×185	200×200  ×185	210×210  ×185	240×240  ×185	250×250  ×185
飞机质量（kg） [1空气弹簧]	10.5	14	15	19	21	27.5
可安装质量（kg） [  使用4个空气弹簧时]	560	880	1200	1700	2200	2800
供应压力	0.40至0.70 MPa（空气源：压缩机·工厂空气·氮气瓶）

模型	AP-200	AP-230	AP-270	AP-330	AP-380
固有频率	垂直·水平：2.5~3.0 Hz
防振方法	空气弹簧
阻尼系统	通过孔口倾倒空气
等级维护方法	自动水平维护机制（返回精度±200μm）
飞机尺寸 W×D×H（mm）	260×260  ×185	300×300  ×185	320×320  ×185	370×370  ×185	430×430  ×185
飞机质量（kg） [1空气弹簧]	32	43.5	52	67.5	90
可安装质量（kg） [  使用4个空气弹簧时]	3600	4600	6400	9600	13000
供应压力	0.40至0.70 MPa（空气源：压缩机·工厂空气·氮气瓶）

选项

• 传感器
• 两级传感器
• 洁净室传感器
• 日本三菱精密空气弹簧式防振装置AP系列
• 日本三菱精密空气弹簧式防振装置AP系列