我们实现了FPD制造设备等大型设备的主动隔振器价格低廉。
MAPS系列具有许多交付结果。其中，我们开发并投入实际使用MRZ系列，通过从一开始就审查设计实现了性价比的提高，同时保持了特别要求的MAPS-130,240的性能
日本三菱精密气压控制主动隔振器 MRZ系列

气压控制主动隔振器MRZ系列

我们实现了FPD制造设备等大型设备的主动隔振器价格低廉。

MAPS系列具有许多交付结果。其中，我们开发并投入实际使用MRZ系列，通过从一开始就审查设计实现了性价比的提高，同时保持了特别要求的MAPS-130,240的性能。

• 活跃

应用领域

• 测量和称重设备
• 半导体制造/精密加工

• 单位类型

• 日本三菱精密气压控制主动隔振器 MRZ系列
• 日本三菱精密气压控制主动隔振器 MRZ系列

概述/功能

主要应用

FPD /半导体制造设备，电子显微镜/真空相关设备，测量设备，超精密加工机等

6自由度主动控制

还消除了 包含垂直和水平气动致动器的单元型被动隔振中难以振动的带。

FB + Floor FF控制在活动状态下执行

FB：反馈控制系统
FloorFF：地面振动前馈控制系统
StageFF：阶段前馈控制系统（可选）

“重量轻，结构紧凑”“低功耗”“低价”

我们实现了轻巧紧凑的单元，降低了功耗，降低了价格。

号5457821

规范

• 主要规格