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日本电测膜厚计COSMOS-3X

X射线荧光膜厚度计COSMOS-3X

 

小空间和空间测量
极小部件，具有出色的可操作性和
精度

·采用双滤波器实现精度，
在条件下进行测量·多任务功能可实现其他处理，包括在测量过程中创建报告
·准直器小值为0.05φmm，可测量极小部分

X射线荧光膜厚度计COSMOS-3X的特点

双滤镜采用

除数字滤波器外，机械滤波器（双滤波器）可用于在件下进行测量，以便始终获得精度。

完整的报告准备功能

通过采用MS-Windows软件，您可以轻松捕获测量屏幕并具有完整的报告创建功能。即使使用测量，多任务也可以进行其他处理，包括创建报告。

5种内脏器官

准直器的小直径为0.1φmm，可以测量极小的部件。标准·0.1,0.2,0.5,1.0,2.0 
另外，有两种特殊规格可供选择。
· 
0.05,0.1,0.2,0.3,0.5·0.05×0.5,0.5×0.05,0.1,0.2,0.5

自诊断功能和X射线管维护功能

自诊断功能可以快速解决设备故障。此外，还增加了X射线管使用时间和耐久时间显示功能，以支持维护安全。

薄膜厚度测量期间的光谱显示

使用多通道进行频谱分析高速处理可实现对象的简单操作和频谱显示。（处理速度约2-3秒）

显示测量单位监视器图像

将X射线照射单元装载在Windows屏幕上并显示X射线照射单元。准直器使得可以改变放大率。

 

 

关于Be window X射线管（选项）的性能提高（高精度）

   

            我们为X射线荧光膜厚度计EX-731准备了Be X射线管（可选）
            。通过使用该选项，
            可以在Cr测量和Ni测量中大大提高重复测量的精度。

 　　　　　　

            关于绩效改进的说明

 　　　　

            高能量（高原子序数）Sn 
         的测量与以前相同，但是在测量低能量（低原子序数）Cr和Ni的情况下，取决于膜厚度，Cr超过3倍，Ni超过2倍或更多重复
         倒钩精度有所改善。如果在两个层测量表面层的Au是略中间
         层的Ni已经由约20％提高接收贡献的精度。荧光X射线法的厚度计
         在生成其中获得的荧光X射线强度的过程中的情况下，重复测定精度（标准偏差）
         是由于统计波动确定的，施加成为窗口的X射线管（可选）
         由此可知，与以往的标准机相比，在Cr的情况下，获得了约9倍以上的荧光X射线强度
         。因此，可以在短时间内以与传统相同的精度进行测量。
         请考虑使用此Be窗口X射线管。

 

测量屏幕

 

直方图

 

X射线荧光膜厚度计COSMOS-3X的规格

类型			手动阶段
测量头	尺寸（mm）		170 x 110
	移动量	X（mm）	70
		Y（mm）	70
		Z（mm）	80
	测量物体高度（）		80
	尺寸（mm）		402（宽）x 430（长）x 580（高）
	重量（kg）		48
	样品负荷（kg）		3
计算机	尺寸（mm）		主体182（W）×383（D）×372（H） /监视器412（W）×415（D）×432（H）
	重量（kg）		Body 6.8 / Monitor 2.8
打印机	重量（kg）		3.4
电源	AC 100 V±10 V.

注意：规格如有更改，恕不另行通知。

X射线源	油浸式紧凑型微焦X射线管 靶：钨 管电压50kV  管电流可变
照射方法	顶部垂直照射方法
探测器	比例计数器
准直器	五种类型（自动切换型） 0.1,0.2,0.5,1.0,2.0φmm  （可选）：0.05,0.1,0.2,0.3,0.5  ，φ   ：0.05×0.5,0.5×0.05,0.1,0.2,0.5φ
样品观察	CCD彩色摄像机
计算机	PC / AT兼容 15英寸彩色显示器
打印机	喷墨打印机
测量目标	原子序数22（Ti）至82（Pb） 原子序数21或更小可通过吸收法测量
过滤器	两种类型（Co，Ni）自动切换
可衡量的范围	原子No.22-24：0.02至约20μm  原子序数25至40：0.01至约30μm  原子序号41至51：0.02至约70μm  原子序号52至82：0.05至约10μm
校准曲线	校准曲线自动创建功能 多点校准曲线
校正功能	基础修正
应用	单层电镀测量双层 电镀测量 三层电镀测量 合金膜厚度成分比同时测量 化学镀镍测量
测量功能	输出模式设定 光谱测量 2点距离测量
数据处理功能	统计显示：平均值，标准差，值，小值，范围，Cp，Cpk  直方图 配置文件显示 x-R控制图
安全功能	X射线电源键开关 故障安全功能
其他功能	密码功能 设备维护

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